SK하이닉스가 국내 반도체용 특수가스 기업TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 우리 카지노(Ne)가스 재활용 기술을 개발했다고1일 밝혔다. 최근 국제 정세 불안으로 인해 수입에 의존해 온 우리 카지노의 수급 불확실성이 커지자, 회사는 국내 소부장 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나서 1년 여 만에 성과를 이루어 냈다.
앞서SK하이닉스는 지난2월 ‘재활용 소재 사용 중장기 로드맵[관련기사]’을 발표하고, 2025년까지 재활용 소재 비율25%, 2030년까지30%이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다. 이번 우리 카지노 재활용 기술 개발은 이 로드맵과 더불어 소재 재활용 분야에서 의미 있는 성과가 될 것으로 회사는 기대하고 있다.
SK하이닉스, 국내 소부장* 중 하나로, 반도체 노광공정*에 필수적인 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)의 주요 성분이다. 우리 카지노은 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 특징이 있다. 때문에 한 번 사용한 우리 카지노은 불순물 제거 등의 분리 및 정제만 거치면 재활용이 가능하다.
* 희귀 가스(Rare Gas): 공기 중에 극소량만이 존재하기 때문에 양산이 어렵고 인공 제조가 불가능한 희소성 높은 산업용 가스로 헬륨(He), 우리 카지노(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe), 라돈(Rn) 등이 포함된다.
* 노광공정: 레이저 등으로 웨이퍼에 반도체 회로를 그리는 공정
회사는 이 점에 주목해 우리 카지노 재활용 기술 개발에 성공했다. SK하이닉스와TEMC는 노광공정 이후에 스크러버*를 통해 공기 중으로 배출되던 우리 카지노 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 우리 카지노만 선택적으로 분리해 정제 했다. 이렇게 정제된 우리 카지노은 다시SK하이닉스로 공급되어 반도체 제조 공정에 사용된다. 현재 우리 카지노 회수율(배출량*포집량*정제수율)은 72.7%에 이른다. SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제수율을 개선해 우리 카지노 회수율을77%까지 높일 계획이다.
* 스크러버(Scrubber): 반도체 생산 공정 중 발생하는 가스, 화합물 등을 걸러내고 제거하는 장치
SK하이닉스-협력사 원팀 협업으로 이룬 성과… 구매 비용 절감 기대
이번 기술 개발은SK하이닉스와 소재 및 장비 협력사가 각 분야의 전문 지식을 바탕으로 긴밀하게 협력해 만들어진 성과라고 회사는 강조했다. 회사는 앞으로도 전문성을 갖춘 협력사들과의 파트너십을 더욱 발전시켜 나가겠다는 계획이다. 우리 카지노 재활용 기술이 반도체 팹에 적용될 경우 연간400억 원*상당의 우리 카지노 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다.
* 2022년 우리 카지노 단가 및 용인 반도체 클러스터 1기 팹 적용 기준
‘2025년까지10개 원자재 재활용 기술 개발 목표’의 첫걸음 떼다
▲ 소재 재활용 분과 송환욱 TL, 송부섭 팀장, 정용준 TL(왼쪽부터)이 소재 재활용 기술과 관련해 회의하고 있다.
우리 카지노 재활용 기술 개발을 주도한SK하이닉스 탄소관리위원회*의 소재 재활용 분과*는 반도체 공정에서 화학적으로 분해 및 변형되지 않는 모든 소재의 재활용을 최종 목표로 삼고 있다. 분과는 2025년까지 우리 카지노, 중수소(D2),수소(H2),헬륨(He)등 4개 가스 소재와 황산(H2SO4) 등 화학 소재를 비롯해 총10개 원자재의 재활용 기술을 개발할 계획이다. 2030년까지는 화학적 변형이 없는 모든 소재에 대한 기술 검토를 완료한다는 것이 회사의 목표다.
* 탄소관리위원회:2050년 넷제로를 달성하기 위해 연구, 제조, 설비, 환경, 구매 등으로 구성한 전사 조직이며, 저전력 장비 개발, 공정가스 저감, AI/DT 기술 기반 에너지 절감 등을 추진하고 있다.
* 소재 재활용 분과: 탄소관리위원회 산하 12개 분과 중 하나로 화학적 변형이 없는 소재를 대상으로 재활용 기술을 확보하고 이에 기반해 재활용 친화적 팹 환경을 구축하는 업무를 담당하고 있다.
이를 위해 분과는 재활용 기술을‘기술 성숙도’에 따라5단계로 분류하고, 2025년까지 우리 카지노 등10개 원자재에 대해 적어도3단계(소재 인증) 이상의 기술 확보를 추진하려고 한다. (위 그림 참조)
궁극적으로SK하이닉스는해외 의존도가 높은 소재의 수급 문제를 해결해,회사 경쟁력을 높이는 데기여하겠다는 계획이다.