· 산업용 꽁 머니 카지노 3 만 기반 계측 기술 관련 논문 2건 양사 합동 발표
· 꽁 머니 카지노 3 만 기술 통해 반도체 공정 산포 및 장비 생산성 개선 효과 기대
· 꽁 머니 카지노 3 만 “산업용 AI 기술 통해 제조 현장 인공지능화 선도할 것”
SK하이닉스와 꽁 머니 카지노 3 만가 25~29일 미국 캘리포니아주 새너제이(San Jose)에서 열리고 있는 국제학회인 ‘SPIE AL*2024’에 참가해 AI 기반 꽁 머니 카지노 3 만 계측*기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔다.
*SPIE AL(SPIE Advanced Lithography + Patterning): 1955년에 미국에서 설립된 광학, 광자학 분야 가장 권위 있는 국제학회인 국제광전자공학회(SPIE, Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers)가 주최하는 컨퍼런스로 꽁 머니 카지노 3 만 회로를 그리기 위한 노광 기술 전반에 대한 논의가 이뤄짐
*계측: 꽁 머니 카지노 3 만 제조 과정에서 꽁 머니 카지노 3 만 소자의 물리적, 전기적 특성이 생산 공정별로 제대로 충족되었는지 확인해 생산성을 높이는 작업
SK하이닉스는 “당사는 반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 그동안 꽁 머니 카지노 3 만와 다양한 영역에서 협업을 진행해 왔고, 이번에 권위 있는 국제학회에서 양사의 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표하게 됐다”며, “앞으로도 꽁 머니 카지노 3 만와 지속 협력해 기술 우위를 확보하기 위해 노력하겠다”고 밝혔다.
이번 논문 발표를 통해 꽁 머니 카지노 3 만는 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘Panoptes VM(Virtual Metrology)’의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 ‘통합 적응형 온라인 모델(Aggregated AOM*)’을 소개했다.
*Adaptive Online Model(AOM): 공정 상태 변화에 따른 데이터 변화 문제를 해결하고 높은 예측 성능을 유지하도록 하는 모델링 알고리즘
SK하이닉스는 2022년 12월부터 Panoptes VM을 도입해 현재까지 5,000만 장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 진행했다. 이를 시간으로 환산하면 초당 1개 이상의 웨이퍼를 가상 계측한 것으로, 회사는 이 소프트웨어의 성능에 힘입어 공정 산포*를 약 29% 개선할 수 있었다.
* 산포: 해당 공정에서 생산된 제품들의 품질 변동 크기로, 산포가 줄어들수록 불량 가능성이 줄어들기에 산포가 적정 수준을 넘어서지 않도록 관리해야 함
꽁 머니 카지노 3 만가 학회에서 새로 공개한 알고리즘은 기존 AOM을 업그레이드한 버전으로, 동일한 패턴을 공유하는 장비 등의 데이터를 통합 모델링해 데이터 부족 문제를 해결하는 동시에 예측 정확도를 높였다. 이 알고리즘을 적용하면 공정 산포 개선율이 높아진다는 것이 꽁 머니 카지노 3 만의 설명이다.
꽁 머니 카지노 3 만는 학회 발표에서 ‘범용 노이즈 제거 기술(Universal Denoising)’도 소개했다.
꽁 머니 카지노 3 만 계측 중 일부 작업은 꽁 머니 카지노 3 만 구조 검사용 전자 현미경(CD-SEM*) 이미지를 바탕으로 진행된다. 극도로 작은 나노미터 단위까지 정확하게 측정하기 위해서는 전자 현미경 이미지의 노이즈(잡티)를 제거해 해상도를 높이는 것이 중요하다.
*CD-SEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope): 전자 광학 현미경과 적외선 광학 현미경을 결합하여 꽁 머니 카지노 3 만 패턴의 크기, 모양 및 위치 등을 측정하는 장비
꽁 머니 카지노 3 만가 개발한 이 기술은 AI를 이용해 다양한 형태의 이미지에서 노이즈를 한 번에 제거해 준다. 회사는 “SK하이닉스와 테스트를 진행한 결과, 이미지 획득 시간이 기존 기술의 1/4까지 단축되는 것을 확인했다”며, “앞으로 이 기술이 반도체 계측 장비의 생산성을 42% 개선할 것”이라고 전망했다.
꽁 머니 카지노 3 만 김영한 대표는 “당사는 산업용 AI 소프트웨어가 반도체 제조 현장에서 효과적으로 사용될 수 있도록 하는 연구 개발에 힘쓰고 있다”며, “앞으로도 AI 기반의 다양한 솔루션 제품을 지속 출시해 ‘제조 현장 인공지능화’를 선도할 것”이라고 말했다.
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▲ 꽁 머니 카지노 3 만 김영한 대표(가운데)가 꽁 머니 카지노 3 만 구성원들과 함께 기념사진을 촬영하고 있다.
